发明名称 Compact geconstrueerd magneetveld ondersteund verstuivingssamenstel.
摘要
申请公布号 NL194654(B) 申请公布日期 2002.06.03
申请号 NL19940000734 申请日期 1994.05.04
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ROMAN SCHERTLER;WALTER HAAG;PETER KOHLER
分类号 C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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