| 摘要 |
Ein Halbleitersensorchip (30) enthält ein dünnes Diaphragma und eine auf einer Vorderseitenoberfläche des Diaphragmas gebildete elektrische Schaltung. Das Disphragma verdreht sich entsprechend einer Durckdifferenz zwischen Drücken, die beiden Oberflächen des Diaphragmas aufgebracht werden, und die Diaphragmaverdrehung wird in ein elektrisches Signal umgewandelt. Beide Oberflächen des Diaphragmas werden mit Schutzteilen (70, 80) bedeckt, um den Sensorchip vor in dem Gas enthaltenen Staub und Feuchtigkeit zu schützen. Da das Gas der Rückseitenoberfläche des Diaphragmas durch einen kleinen Durchgang (41) eingeführt wird, während die Vorderseitenoberfläche einen Druck mit einer relativ großen Fläche aufnimmt, ist das Schutzteil (80), welches die Rückseitenoberfläche bedeckt, weicher als das ausgebildet, welches die Vorderseitenoberfläche bedeckt. Somit ist der Sensorchip geeignet vor Staub und Feuchtigkeit geschützt. |
