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发明名称 Vorionisierungseinrichtung für einen Gasentladungslaser
摘要
申请公布号 DE3819731(C2) 申请公布日期 2002.05.29
申请号 DE19883819731 申请日期 1988.06.09
申请人 LAMBDA PHYSIK AG 发明人 STEINFUEHRER, GERD
分类号 H01S3/038;H01S3/0971;H01S3/0977;(IPC1-7):H01S3/097;H01J17/30 主分类号 H01S3/038
代理机构 代理人
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