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发明名称 Light spot position sensor and displacement measuring device
摘要
申请公布号 GB2369184(A) 申请公布日期 2002.05.22
申请号 GB20010016745 申请日期 2001.07.09
申请人 * MITUTOYO CORPORATION 发明人 TOSHIHIKO * AOKI
分类号 G01B11/00;G01B11/03;G01B11/24;G01B11/245;G01B11/30;G01B21/20;G01B21/30;G01D5/26;G01D5/30;G01D5/347;(IPC1-7):G01D5/30;H01L27/148 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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