| 发明名称 |
Amorphous carbon layer for improved adhesion of photoresist |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU1328002(A) |
申请公布日期 |
2002.05.15 |
| 申请号 |
AU20020013280 |
申请日期 |
2001.10.16 |
| 申请人 |
MOTOROLA, INC. |
发明人 |
DAVID P. MANCINI;STEVEN M. SMITH;DOUGLAS J. RESNICK |
| 分类号 |
G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/311;H01L21/314 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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