APPAREIL DE DETECTION EN PARALLELE DU COMPORTEMENT DE MICROOSCILLATEURS MECANIQUES

摘要

L'invention concerne un appareil de détection en parallèle du comportement de microoscillateurs mécaniques interagissant avec l'échantillon (21). Par des moyens optiques, on mesure l'amplitude et la phase de résonance des microoscillateurs (12).Selon l'invention, une source (1) est active pendant une fraction 1/ n de la période (n entier) et de phase variable p/ n de la période (p entier). On réalise des interférences entre des faisceaux lumineux produits par réflexion de faisceaux lumineux incidents (7) et (8), sur les microoscillateurs (12). Des moyens déplacent périodiquement les microoscillateurs (12). On fait varier la valeur du paramètre p (p entier) et on intègre N mesures élémentaires pour obtenir une mesure représentative pour chacune des valeurs de p. On calcule la phase et l'amplitude de chaque microoscillateur (12) à partir des données représentatives obtenues pour chaque valeur de p et ceci pour un grand nombre d'accumulations. Cette invention est appliquée dans le domaine des nanotechnologies.