用数字干涉仪辅助装调真空紫外干涉光谱仪的方法

摘要

本发明涉及一种对紫外一真空紫外干涉光谱仪用数字干涉仪进行辅助装调的方法。在干涉光谱仪所有光学、机械件按设计图纸安装完毕后,将干涉光谱仪与数字干涉仪放在同一平台上,采用数字干涉仪与干涉光谱仪内设光源并用,逐次逼近的方法,使得紫外－真空紫外干涉光谱仪的调试不再成为难题。解决了已有技术对紫外－真空紫外干涉光谱仪调试中,需用激光器需另加辅助光路,干涉图调试难度大,替换光源时难以保证光源位置准确的问题,提高了工作效率,避免了不必要的浪费。

主权项

1、一种用数字干涉仪辅助装调真空紫外干涉光谱仪的方法，其特征在于：在干涉光谱仪所有光学、机械件按设计图纸安装完毕后，将干涉光谱仪与数字干涉仪放在同一平台上，并将干涉光谱仪与数字干涉仪两仪器的光轴调至同一高度，数字干涉仪用平面标准镜，出射波为平面波前，用两个反射镜1和2将光束改变方向后称为引入光束，并将引入光束引进干涉光谱仪直接照射在干涉光谱仪中的平面反射镜上，调试时使引入光束与干涉光谱仪中的汞光谱灯入射方向一致，再根据干涉光谱仪原理，以引入光束为准逐次调整光学元件位置、倾斜量及光斑大小，直至在干涉光谱仪探测器位置上出现与反射镜2出射光斑大小相同的激光光斑，此时在探测器处放置一平面反射镜，调节该反射镜倾斜角，可使光斑自准返回到数字干涉仪，通过数字干涉仪显示屏上的光斑重合情况及干涉图状况可判断干涉光谱仪各光学元件位置、倾斜量是否调到位，经过精心调整，各光学元件匹配合理后将出现较理想的干涉图，此时，主要光学元件的位置就已基本确定，当探测器前放置一屏时，屏上将出现较强的激光干涉图，由于激光与所使用的短波光源相干长度不同，因而要使短波光源在干涉光谱仪中产生干涉图，需在此基础上适当调整干涉光谱仪测试臂的长度，以满足相干要求，在前后调整过程中，通过反射镜2的放入、取下使数字干涉仪光束与汞光谱灯交替使用，用激光干涉图监测仪器中各光学元件匹配情况，用汞光谱灯调试短波段干涉图，逐次逼近，最终将能调出短波段干涉谱图，达到紫外—真空紫外干涉光谱仪精调之目的。