发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES FILTERS
摘要
申请公布号 DE59803645(D1) 申请公布日期 2002.05.08
申请号 DE19985003645 申请日期 1998.07.27
申请人 NFT NANO-FILTERTECHNIK GMBH 发明人 HOFMANN, WILFRIED;SCHEYBANI, TSCHANGIZ
分类号 B01J19/00;C25F3/12;H01L21/3063;(IPC1-7):C25F3/12;H01L21/306 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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