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发明名称 Hochauflösende Rasterröntgenphotoelektronenspektroskopie zur Bilderzeugung
摘要
申请公布号 DE69331722(D1) 申请公布日期 2002.04.25
申请号 DE19936031722 申请日期 1993.08.25
申请人 PHYSICAL ELECTRONICS, INC. 发明人 LARSON, PAUL E.;PALMBERG, PAUL W.
分类号 G01N23/227;G01Q30/02;G01Q30/06;G21K1/06;H01J37/06;H01J37/256;H01J37/285;H01J49/44;H01J49/48;(IPC1-7):G01N23/227;H01J49/08 主分类号 G01N23/227
代理机构 代理人
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