| 发明名称 |
Device and method for measurements of structures on substrates of various thicknesses |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1092945(A3) |
申请公布日期 |
2002.04.24 |
| 申请号 |
EP20000121933 |
申请日期 |
2000.10.09 |
| 申请人 |
LEICA MICROSYSTEMS WETZLAR GMBH |
发明人 |
KACZYNSKI, ULRICH |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/03;G01B11/06;G12B5/00;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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