发明名称 Micro electro mechanical system
摘要
申请公布号 GB0204701(D0) 申请公布日期 2002.04.17
申请号 GB20020004701 申请日期 2002.02.28
申请人 BOOKHAM TECHNOLOGY PLC 发明人
分类号 B81B3/00;B81B7/02;G02B26/08 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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