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发明名称 A MINIATURIZED OPTICAL COMPONENT, AND MANUFACTURE OF SAME
摘要
申请公布号 EP0978005(B1) 申请公布日期 2002.03.27
申请号 EP19980921483 申请日期 1998.04.23
申请人 INSTITUT FUER MIKROTECHNIK MAINZ GMBH 发明人 EHRFELD, WOLFGANG;LACHER, MANFRED;WEBER, LUTZ;PECH, BERNHARD;HOSSFELD, JENS;DIEHL, THORSTEN
分类号 G01J3/02;(IPC1-7):G02B6/34;G02B6/36 主分类号 G01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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