热转换等离子体调谐器的方法

摘要

本发明的热转换方法与阻抗匹配电路将匹配电路的调谐范围扩展为包括增加的功率电平。此热转换方法与电路包括将受控阻抗网络耦合在射频(RF)发生器输出端与等离子体腔输入端之间来匹配阻抗。此受控阻抗网络包括用于转换预定阻抗的RF开关。确定此RF开关的器件性能特征。通过受控阻抗网络将RF功率从RF发生器加到此等离子体腔上。测量此阻抗匹配的信号特征。根据测量的信号特征来控制此RF开关,以便朝向预定的匹配范围驱动此阻抗匹配。根据此器件性能特征以任何速度转换此RF开关。

主权项

1.一种阻抗匹配方法，用于调谐耦合在发生器输出端与等离子体腔输入之间的受控阻抗网络，以控制阻抗匹配此受控阻抗网络包括具有器件性能特征的射频(RF)开关，包括以下步骤：确定RF开关器件性能特征；给等离子体腔输入端加上RF功率；测量阻抗匹配的信号特征；和根据测量的信号特征转换此RF开关，以便朝向预定的匹配范围驱动此阻抗匹配；其中此RF开关以基于此器件性能特征的速度进行转换。