| 发明名称 |
Vorrichtung zur Herstellung von Siliciumeinkristallen hoher Qualität |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE20118059(U1) |
申请公布日期 |
2002.02.28 |
| 申请号 |
DE20012018059U |
申请日期 |
2001.11.07 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B15/00;(IPC1-7):C30B15/00;C30B29/06 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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