| 发明名称 |
REAKTOR UND VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN VON FLÄCHIGEN SUBSTRATEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59510000(D1) |
申请公布日期 |
2002.02.21 |
| 申请号 |
DE19955010000 |
申请日期 |
1995.06.26 |
| 申请人 |
AIXTRON GMBH |
发明人 |
JUERGENSEN, HOLGER;BACHEM, DR. |
| 分类号 |
C23C16/30;C23C16/44;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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