发明名称 Contact free conveying apparatus for transporting items
摘要 Die Fördereinrichtung kann Bauteile (1) aus Kunststoff, Halbleitermaterial oder Metall berührungslos transportieren. Sie besteht aus einer Transportbahn (4) aus mit Düsen (3) versehenen Leisten oder Leisten aus gasporösem Material zur Erzeugung eines Luftkissens, mit dem die Bauteile (1) nur angehoben werden. Eine Reihe von Elektroden (2) entlang der Transportbahn überspannen dieselbe. Mit einer Multiplexeinrichtung (Fig.3) werden die Elektroden gruppenweise an jeweils ein definiertes, unterschiedliches elektrische Potentiale gelegt. Die Gruppen bestehen jeweils aus mindestens zwei Elektroden (2). Die gruppenweise elektrische Beaufschlagung wandert vom Eingang her zum Ausgang hin Elektrode um Elektrode fort. Der Höchstabstand zweier unmittelbar benachbarter Elektroden (2) ist höchstens gleich der Ausdehnung des Bauteils (1) in Transportrichtung. <IMAGE>
申请公布号 EP1180486(A2) 申请公布日期 2002.02.20
申请号 EP20010115993 申请日期 2001.06.30
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH 发明人 GENGENBACH, ULRICH, DR.;BOOLE, JAMES CHARLES
分类号 B65G51/03;H01L21/677;(IPC1-7):B65G51/03 主分类号 B65G51/03
代理机构 代理人
主权项
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