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发明名称
摘要
申请公布号	JP2002505516(A)	申请公布日期	2002.02.19
申请号	JP20000533875	申请日期	1999.02.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/8246;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/824	主分类号	H01L21/8246
代理机构		代理人
主权项
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