METHOD AND ASSEMBLY FOR INCREASING THE SPECTRAL AND SPATIAL RESOLUTION OF A DETECTOR

摘要

Verfahren zur optischen Erfassung von charakteristischen Grössen einer beleuchteten Probe, wobei das von der Probe rückgestreute, reflektierte und/oder fluoreszierte und/oder transmittierte Signal mit einem ortsauflösenden Detektor detektiert wird, indem die von der Probe kommende Strahlung aus den Detektor abgebildet wird, wobei die Lage der ortsaufgelöst gemessenen Strahlung relativ zum Detektor verschoben wird und mittels eines Algorithmus aus den bei verschiedenen Verschiebungen gemessenen Signalen Zwischenwerte zum Zwecke der Erhöhung der Ortsauflösung des Detektors ermittelt werden, wobei vorteilhaft die Schrittgrösse der Verschiebung unterhalb des Rastermasses der Ortsauflösung des Detektors liegt und eine Verschiebung des Detektors in Richtung seiner Ortsauflösung und/oder eine Verschiebung oder Verschwenkung eines abbildenden Elementes in mindestens einer Achse und/oder eines reflektiven Elementes in mindestens einer Achse und/oder eines dispersiven Elementes in mindestens einer Achse erfolgt und eine spektral aufgelöste Messung von Spektren über ein dem Detektor vorgeordnetes dispersives Element erfolgt.