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发明名称
摘要
申请公布号 JP3255015(B2) 申请公布日期 2002.02.12
申请号 JP19960145466 申请日期 1996.06.07
申请人 发明人
分类号 F01D5/28;C23C8/10;C23C10/50;C23C16/06;C23C30/00;(IPC1-7):C23C8/10 主分类号 F01D5/28
代理机构 代理人
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