| 发明名称 | 带悬臂与屏蔽的静电力检测器 | ||
| 摘要 | 一种测量被测样品(40)的静电力的静电力显微镜,包括:检测器(10),其悬臂(12)在一端有一尖头形状(14),且定位成在尖头上由被测样品上的静电电荷感应出静电力;光学系统(20),用于将尖头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号,且含有尖头上感应的静电力的频率分量;向检测器加偏压的源(92);检测器电路(30),用于检测检测器尖头感应的静电力的频率分量,中测量被测样品上的静电力;以及在操作上与悬臂相关联的静电屏蔽。 | ||
| 申请公布号 | CN1333875A | 申请公布日期 | 2002.01.30 |
| 申请号 | CN99815447.4 | 申请日期 | 1999.11.05 |
| 申请人 | 特瑞克股份有限公司 | 发明人 | 上原利男;B·T·威廉姆斯;伊藤秋吉;中川克二;谷万武 |
| 分类号 | G01R29/12;G01B7/06 | 主分类号 | G01R29/12 |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 李湘 |
| 主权项 | 权利要求书1.一种静电力显微镜，用于测量被测样品的静电力与膜厚度，其特征在于包括：a)包括悬臂的检测器，所述悬臂在一端有一形状，并定位成被测样品上的静电电荷在尖头上感应出静电力；b)一种光学系统，用于将尖头上感应的静电力造成的悬臂弯曲转换成电信号，且电信号含有检测器尖头感应的静电力的频率分量；c)将组合的交直流偏压加到检测器的装置；d)检测检测器尖头上感应的静电力的频率分量的装置，所述频率分量对应于所述频率的两倍，因而能同时测量被测样品的静电力与膜厚度；和e)操作时与所述悬臂相关联的静电屏蔽。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||