发明名称 电容差压/压力传感器
摘要 一种电容差压/压力传感器,包括带有引压孔的定电极及动电极、金属外壳,其中金属定电极的曲面溅射有绝缘膜层或覆盖上一层高温聚合物薄膜,并通过绝缘体与金属外壳固接成一体。它结构设计合理,既省略了对传统工艺绝缘体基底的研磨、镀金属膜层等工序,明显缩短了加工周期,提高了绝缘膜层抗静电性能,又降低了加工成本,有效提高产品质量,成品率显著提高。
申请公布号 CN2475015Y 申请公布日期 2002.01.30
申请号 CN01211926.1 申请日期 2001.03.02
申请人 段祥照 发明人 段祥照
分类号 G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 沈阳市科威专利代理有限责任公司 代理人 刁佩德
主权项 1、一种电容差压/压力传感器,包括带有引压孔的定电极及动电极、金属外壳,其特征在于金属定电极的曲面溅射有绝缘膜层或覆盖上一层高温聚合物薄膜,并通过绝缘体与金属外壳固接成一体。
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