照明装置、包含它的曝光装置及曝光方法

摘要

一种照明装置，它备有对光源来的光聚光的聚光反射部件；对经该聚光反射部件的光接收积分并射出的棒状光学积分仪；和将经过该光学积分仪的光按预定大小作成适合于点照射的平行光束的投影透镜系统。该照明装置使用可获得光强度分布均匀光束的构造简单的棒状光学积分仪，从而能高解像度曝光并能小型化。$#!

主权项

1.一种曝光装置，其特征在于，它备有：照明装置，该照明装置具有：光源，对来自上述光源的光聚光的聚光反射部件，从一端接受经上述聚光反射部件的光、从另一端射出使该光强度分布均匀的光束的具有多边形截面形状的棒状光学积分仪，放大投影上述光学积分仪出射面中的像并将上述光束变为平行光束的投影透镜系统，其中，所述棒状光学积分仪的长度与所述截面形状中相对两边之间距离中的最长距离之比在2至50范围中；使上述照明装置与基板相对移动的移动手段；设置在照明装置中的平行光束出口附近的使掩模局部变形的掩模变形手段。