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发明名称
摘要
申请公布号	JP2002502123(A)	申请公布日期	2002.01.22
申请号	JP20000529748	申请日期	1999.01.20
申请人		发明人
分类号	H01L29/78;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/265	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
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