发明名称 Vorrichtung zur Herstellung eines kristallorientierten Dünnfilms
摘要
申请公布号 DE69429228(D1) 申请公布日期 2002.01.10
申请号 DE1994629228 申请日期 1994.09.27
申请人 MITSUBA CORP., KIRYU;NATIONAL RESEARCH INSTITUTE FOR METALS, TOKIO/TOKYO 发明人 FUKUTOMI, MASAO;AOKI, SHIGEKI;KOMORI, KAZUNORI;ASANO, TOSHIHISA;TANAKA, YOSHIAKI;MAEDA, HIROSHI
分类号 C01G1/00;C23C14/08;C23C14/22;C23C14/34;C23C14/50;C30B23/02;C30B23/08;C30B29/16;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C01G1/00
代理机构 代理人
主权项
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