| 发明名称 |
Discharge laser having electrodes with sputter cavities and discharge peaks |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU7682001(A) |
申请公布日期 |
2001.12.24 |
| 申请号 |
AU20010076820 |
申请日期 |
2001.04.27 |
| 申请人 |
CYMER, INC. |
发明人 |
RICHARD G. MORTON;ZSOLT BOR;ECKEHARD D. ONKELS |
| 分类号 |
B01J19/12;G03F7/20;H01S3/036;H01S3/038 |
主分类号 |
B01J19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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