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Die Erfindung bezieht sich auf eine Thermobearbeitungsvorrichtung (100) zum schnellen Erhöhen und Vermindern einer Temperatur eines Zielobjekts W bei einem geringen Energieverbrauch. Das Zielobjekt W ist einer Wärmebehandlung in einer Prozeßkammer (110) ausgesetzt. Eine Wärmequelle (130) erwärmt das Zielobjekt von einer Seite einer ersten Oberfläche des Zielobjekts. Eine Kühlanordnung (114, 116) umfaßt einen Bodenabschnitt (114) der Prozeßkammer und kühlt das Objekt W von einer Seite einer zweiten, der ersten Oberfläche entgegengesetzten Oberfläche. Ein Gas mit einer hohen thermischen Leitfähigkeit wird in einem Raum zwischen dem Zielobjekt und dem Bodenabschnitt eingeführt, um eine Wärmeübertragung von dem Objekt auf den Bodenabschnitt (114) der Prozeßkammer (110) zu unterstützen. Ein Bewegungsmechanismus (118) bewegt wenigstens das Objekt oder wenigstens den Bodenabschnitt (114A) der Prozeßkammer (110), so daß das Objekt W mit einem geringeren Einfluß durch die Kühlanordnung (114A, 116), die entfernt von dem Zielobjekt W angeordnet ist, erwärmt und mittels der Kühlanordnung, die in der Nähe des Zielobjekts angeordnet ist, gekühlt werden kann.
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