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发明名称 ARC type evaporation source
摘要
申请公布号 EP1081248(A3) 申请公布日期 2001.12.19
申请号 EP20000307110 申请日期 2000.08.18
申请人 NISSIN ELECTRIC COMPANY, LIMITED 发明人 OKAZAKI, NAOTO;OHTANI, SATOSHI;IRISAWA, KAZUHIKO;NAKAMURA, NOBUHIKO
分类号 B23K9/08;C23C14/24;C23C14/26;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 B23K9/08
代理机构 代理人
主权项
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