| 发明名称 |
APPAREIL ET PROCEDE POUR INSPECTER DES DEFAUTS DE CONTACT SUR DES DISPOSITIFS A SEMI-CONDUCTEUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2779829(B1) |
申请公布日期 |
2001.12.14 |
| 申请号 |
FR19980016252 |
申请日期 |
1998.12.22 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD |
发明人 |
JUN CHUNG SAM;KIM JEONG KON;CHON SANG MOON;CHOI SANG BONG |
| 分类号 |
G01R31/302;G01R1/06;G01R31/02;G01R31/307;H01J37/22;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26;G01R31/265 |
主分类号 |
G01R31/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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