METHOD FOR PRODUCING A FULL CYLINDER FROM QUARTZ GLASS

摘要

Bei einem bekannten Verfahren für die Herstellung eines Vollzylinders (18) aus Quarzglas durch Ziehen aus einem Quarzglas-Hohlzylinder (5) in einem Vertikalziehprozess, wird der Hohlzylinder (5) einer Heizzone (4) zugeführt, darin bereichsweise erweicht und aus dem erweichten Bereich (15) der Vollzylinder (18) abgezogen, wobei in der Innenbohrung (19) des Hohlzylinders (5) ein gegenüber einem ausserhalb davon anliegenden Aussendruck (P2) verringerter Innendruck (P1) aufrechterhalten wird. Um hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, mittels dem ein Quarzglas-Vollzylinder aus einem Hohlzylinder unter weitgehender Vermeidung einer radialen Verformung kostengünstig gezogen werden kann, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass der Vertikalziehprozess eine Anziehphase und eine Ziehphase umfasst, wobei im Verlauf der Anziehphase der Innendruck (P1) allmählich, um 10 mbar pro Minute oder langsamer, bis auf einen vorgegebenen Sollwert verringert und gleichzeitig die Innenbohrung kollabiert wird.