| 发明名称 |
Plasma treater systems and treatment methods |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU742051(B2) |
申请公布日期 |
2001.12.13 |
| 申请号 |
AU19980081234 |
申请日期 |
1998.07.13 |
| 申请人 |
THE UNIVERSITY OF TENNESSEE RESEARCH CORPORATION |
发明人 |
PAUL SPENCE;JOHN LYNCH |
| 分类号 |
B29C59/14;C23C16/40;C23C16/509;C23C16/54;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C23C16/50;B05D3/14 |
主分类号 |
B29C59/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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