| 发明名称 |
Gripper for disc substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0886304(B1) |
申请公布日期 |
2001.12.12 |
| 申请号 |
EP19980890157 |
申请日期 |
1998.05.22 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT<BR>ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG |
发明人 |
PIRKER, WILLIBALD |
| 分类号 |
H01L21/677;B25J15/08;B25J19/00;B65G49/07;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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