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发明名称 Aliasing sampler for plasma probe detection
摘要
申请公布号 EP0753876(B1) 申请公布日期 2001.12.05
申请号 EP19960301451 申请日期 1996.03.04
申请人 ENI, A DIVISION OF ASTEC AMERICA, INC. 发明人 KEANE, ANTHONY RICHARD ALAN
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/00;(IPC1-7):H01J17/32;H03B19/00;G01N21/73;G01R19/255;G01R31/24;G01R21/133;H05H1/36 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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