| 摘要 |
<p>본 고안은 세정조에 관한 것으로써, 본 고안에 따른 세정조는 본 고안에 따른 세정조는 하부에 세정액 공급구를 가진 냄비 모양의 내조와, 상기 내조를 감싸듯이 상기 내조의 외부에 설치되어 상기 내조에서 넘쳐나는 세정액을 받고 세정액 순환구가 하부에 형성된 외조와, 상기 외조의 세정액 순환구에서 나오는 세정액을 펌핑하는 펌프와, 상기 펌프에서 펌핑된 세정액의 흐름을 조절하는 댐퍼와, 상기 댐퍼에 연결되어 세정액의 이물질을 거르는 필터와, 상기 필터링된 세정액을 일정온도로 만들어 상기 내조의 세정액 공급구를 통하여 공급하는 항온기를 가지는 세정조에 있어서, 상기 내조를 내벽과 외벽의 이중구조로 형성하고, 상기 외벽 하부 및 상부에 각각 입수구 및 배출구를 형성하여 상기 입수구를 통해 일정온도의 물을 공급받고, 상기 배출구를 통해 온도가 변화된 물을 배출하는 구조를 가져 세정액 온도의 변화를 줄여 순환되어 공급되는 세정액의 순간적인 온도 상승을 방지하여 기포 발생을 억제하고 내조에 공급된 세정액의 온도를 일정하게 유지하기에 적합하므로 세정 공정중 발생하는 웨이퍼 표면의 손상을 방지 할 수 있다.</p> |
