| 发明名称 |
Vacuum processing apparatus and multi-chamber vacuum processing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20010105238(A) |
申请公布日期 |
2001.11.28 |
| 申请号 |
KR20010026895 |
申请日期 |
2001.05.17 |
| 申请人 |
ULVAC CORP |
发明人 |
MASUDA TAKESHI;YAMADA TAKAKAZU;UEMATSU MASAKI;SUU KOUKOU |
| 分类号 |
B01J3/00;B01J3/02;B01J19/00;B01J19/08;C23C14/54;C23C16/44;C23C16/52;C23C16/54;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302 |
主分类号 |
B01J3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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