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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenbehandlung von Substraten durch elektrische Entladungen zwischen zwei Elektroden in einer Gasmmischung
摘要
申请公布号 DE69801972(D1) 申请公布日期 2001.11.15
申请号 DE19986001972 申请日期 1998.11.02
申请人 L'AIR LIQUIDE, S.A. POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE;SOFTAL ELECTRONIC GMBH 发明人 VILLERMET, ALAIN;COEURET, FRANCOIS;COCOLIOS, PANAYOTIS;MARTENS, BERND;PRINZ, ECKHARD;SALGE, JUERGEN
分类号 B05D3/14;B05C21/00;B05D7/24;B29C71/04;C08F2/52;C08J7/00;D06B1/14;D06M10/02;(IPC1-7):B05D7/24 主分类号 B05D3/14
代理机构 代理人
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