正面喷墨单片集成热汽喷墨打印头及其制造方法

摘要

本发明介绍一种集成于同一硅片的正面喷墨打印头及其制造方法，集成部分除喷嘴，毛细管，集流腔，加热电阻器外，还有墨水过滤器。墨水流入硅片后，首先经过滤器除去墨水中的固体颗粒，然后会集于集流腔，并由集流腔分配进入毛细管，防止毛细管被墨水中的固体颗粒堵塞。加热电阻器形成于毛细管上部的条形硅梁中，硅梁间有隔热墙，能有效阻止电阻器产生的热量交叉传递和传导散失。$＃!

主权项

1．一种含墨水过滤器的单片集成热汽喷墨打印头，其特征为该打印头主要包括：一块硅衬底，一层从所说硅衬底上长出的硅外延层，若干布置在所说硅外延层顶部的喷墨口，若干与喷墨口相连的通墨毛细管，一个与毛细管相通的墨水集流腔，若干布置在毛细管顶部的加热电阻器，一个与集流腔相通的墨水过滤器。