发明名称 |
PROCEDE DE REALISATION D'UN DISPOSITIF COMPRENANT UN EMPILEMENT DE PLANS DE BOITES QUANTIQUES SUR UN SUBSTRAT DE SILICIUM OU GERMANIUM MONOCRISTALLIN |
摘要 |
|
申请公布号 |
FR2797093(B1) |
申请公布日期 |
2001.11.02 |
申请号 |
FR19990009646 |
申请日期 |
1999.07.26 |
申请人 |
FRANCE TELECOM |
发明人 |
BENSAHEL DANIEL;CAMPIDELLI YVES;HERNANDEZ CAROLINE |
分类号 |
H01L21/306;H01L29/12;H01L29/15;H01L33/34;H01S5/32;H01S5/34;(IPC1-7):H01L21/20;H01L21/322 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|