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发明名称
摘要
申请公布号	JP2001520708(A)	申请公布日期	2001.10.30
申请号	JP19990541981	申请日期	1999.02.18
申请人		发明人
分类号	C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/455	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
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