发明名称
摘要
申请公布号 JP3223869(B2) 申请公布日期 2001.10.29
申请号 JP19970332385 申请日期 1997.11.17
申请人 发明人
分类号 G01N1/00;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N1/00
代理机构 代理人
主权项
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