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发明名称 PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 EP1094505(A4) 申请公布日期 2001.10.24
申请号 EP19970913415 申请日期 1997.11.20
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 ISHIZUKA, SHUICHI;AOKI, TAKESHI
分类号 H01L21/31;H01J37/32;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/205;H01L21/306;C23C16/50;C23F4/00;H05H1/46 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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