一种红外双重富利埃变换的椭圆偏振光谱仪及其设计方法

摘要

已有的红外双重富利埃变换的椭圆偏振光谱仪设计方法均采用单只起偏器，并由检偏器作连续转动。本发明在既对波长又对偏振角作双重富利埃变换的同时，采用两个起偏器P＃-[o]和P，其中起偏器P＃-[o]固定，检偏器A与起偏器P采用2∶1系数同步旋转，可得到各波长的光强信号，通过双重富利埃变换求得对应于各波长的4个交流光强分量，就能以不同的组合自洽求出完整的椭偏参数。采用本发明制造的红外椭圆偏振光谱仪，具有数据自洽、准确、灵敏和实时快速的优点。$＃!

主权项

1、一种红外双重富利埃变换的椭圆偏振光谱仪，有红外光源经红外富利埃变换出射光被准直后经起偏器和样品，光被反射后再经检偏器和探测器接受最后的信号，由计算机通过A/D转换处理和分析，其特征在于入射光被准直后经过两个起偏器P0和P，其中固定的起偏器P0垂直于入射面，由样品反射的光经过检偏器A，旋转的检偏器A与旋转的起偏器P的初始方位角与固定的起偏器P0重合，旋转的检偏器A与旋转的起偏器P采用2∶1系数同步旋转。