| 摘要 |
<p>본 발명의 단결정 인상장치는 반도체의 효율화에 대응한 실리콘 단결정의 인상 기술에 가장 알맞은 것이고, 반도체의 제조분야에서 이용할 수 있다. 이 장치는 단결정에 계합단부를 형성하는 인상수단과, 그 단결정의 계합단부를 파지하는 유지기구로 구성되고, 인상의 진척에 따라서 단결정의 중량이 증가하는 일이 없으며, 대쉬넥크부에서 부담할 수 있는 하중의 한계에 도달하기 전에 유지기구에 의한 단결정의 유지로 이행한다. 이때문에 대중량의 단결정을 인상하는 경우에 있어서도 단결정의 계합·파지는 확실하게 되어, 낙하사고를 발생하는 일이 없어 단결정을 안전하게 제조할 수 있다.</p> |
