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发明名称
Use of an insulating spacer to prevent threshold voltage roll-off in narrow devices
摘要
申请公布号
EP1145304(A1)
申请公布日期
2001.10.17
申请号
EP20000975391
申请日期
2000.10.26
申请人
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.
发明人
ZHENG, TAMMY;NOURI, FARAN
分类号
H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/762
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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