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发明名称 Method for fabricating silicon semiconductor discrete wafer
摘要
申请公布号 EP0823308(B1) 申请公布日期 2001.10.10
申请号 EP19970112407 申请日期 1997.07.19
申请人 NAOETSU ELECTRONICS COMPANY 发明人 OHSHIMA, HISASHI;SATOH, TSUTOMU
分类号 B24B7/22;B24B37/04;B28D5/02;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B24B37/04 主分类号 B24B7/22
代理机构 代理人
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