METAL WAFER LEVEL TEST PATTERN

摘要

본 발명은 온도 차이가 이엠(EM; electromigration) 특성에 미치는 영향을 상대적으로 평가하기 위해 정확한 온도차이를 측정하는 메탈 웨이퍼 레벨 테스트 패턴에 관한 것으로, 두 개의 테스트 라인에 걸쳐 넓은 폴리 히터를 두고, 주울히팅에 의한 온도 측정용 테스트 라인을 따로 두어, 테스트 라인과 폴리 히터 사이에 생기는 온도 차이를 상대적으로 구할 수 있게 한 메탈 웨이퍼 레벨 테스트 패턴이다.