| 发明名称 |
METHOD FOR UNCOVERING A CONTACT SURFACE |
| 摘要 |
Eine Schicht aus TiN auf dem Bondpad wird mittels einer wässrigen Lösung aus H2O2 und einer chemischen Base entfernt; dann wird eine auf der Oberfläche des Bondpads gebildete Oxidschicht mittels einer schwachen oder verdünnten chemischen Base abgetragen.
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| 申请公布号 |
WO0169652(A2) |
申请公布日期 |
2001.09.20 |
| 申请号 |
WO2001DE00582 |
申请日期 |
2001.02.15 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG;OBERMEIER, HERBERT;GOELLNER, REINHARD |
发明人 |
OBERMEIER, HERBERT;GOELLNER, REINHARD |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/60;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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