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发明名称
摘要
申请公布号
JP3208734(B2)
申请公布日期
2001.09.17
申请号
JP19900216982
申请日期
1990.08.20
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;G01R1/073;H01L21/66;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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