发明名称 Appareil de pulvérisation
摘要
申请公布号 FR1469226(A) 申请公布日期 1967.02.10
申请号 FR19660044582 申请日期 1966.01.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人
分类号 C23C14/28;C23C14/35;H01B3/02;H01J37/34;H01L23/29 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
地址