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经营范围
发明名称
Appareil de pulvérisation
摘要
申请公布号
FR1469226(A)
申请公布日期
1967.02.10
申请号
FR19660044582
申请日期
1966.01.03
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
分类号
C23C14/28;C23C14/35;H01B3/02;H01J37/34;H01L23/29
主分类号
C23C14/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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