发明名称 具CMOS相容特点的程序液
摘要 一种具CMOS相容特点液体,包含一种CMOS技术用程序液与颜料的混合物,该颜料由一种或数种吩恶-及/或一种或数种若丹明(硷性蕊、香红)-及/或一种或数种-及/或一种或数种黄素颜料选出。
申请公布号 TW454223 申请公布日期 2001.09.11
申请号 TW088111372 申请日期 1999.07.05
申请人 罗伯特博斯奇股份有限公司 发明人 罗塔维伯;法兰兹雷尔门;威廉佛瑞
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林镒珠 台北市长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种具CMOS相容特点的程序液,包含一种由CMOS技术用之程序液与一种或数种颜料所构成之混合物,该颜料由一种或数种吩-及/或一种或数种若丹明及一或数种-及/或一种或数种黄素颜料选出。2.如申请专利范围第1项之具CMOS相容特点的程序液,其中:该程序液中的颜料浓度为0.001~1克/升。3.如申请专利范围第2项之具CMOS相容特点的程序液,其中:该程序液中的颜料浓度为0.01~0.2克/升。4.如申请专利范围第1或第2项之具CMOS相容特点的程序液,其中:该程序液系无色者。5.如申请专利范围第1或第2项之具CMOS相容特点的程序液,其中:所用当作程序液者为:除离子水、苛性钾液、受缓冲之含HF氧化物侵蚀溶液、氟化铵、磷酸、硫酸或硝酸。6.如申请专利范围第1或第2项之具CMOS相容特点的程序液,其中:所用吩恶颜料为尼罗蓝、麦尔多拉蓝、棓青或棓吩宁。7.如申请专利范围第1或第2项之具CMOS相容特点的程序液,其中:所用若丹明颜料为若丹明Rh6G、Rh101.Rh700.Rh800或Rh19。8.如申请专利范围第1或第2项之具CMOS相容特点的程序液,其中:所用黄素颜料为核糖黄素、光黄素或蛋白黄素。9.如申请专利范围第1或第2项之具CMOS相容特点的程序液,其中:所用颜料为胭脂树素、藏花酸、或胡萝卜素。
地址 德国