| 发明名称 |
Method and apparatus for single-side processing of disk-shaped articles |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0871207(B1) |
申请公布日期 |
2001.09.05 |
| 申请号 |
EP19980890055 |
申请日期 |
1998.03.03 |
| 申请人 |
SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT |
发明人 |
GUGGENBERGER, GUENTHER |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/302;H01L21/205;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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